電子及半導(dǎo)體制造業(yè)者對靜電釋放與微粒污染損害所需付出的費(fèi)用相當(dāng)驚人，從統(tǒng)計(jì)資料中知悉，全球每年因靜電釋放(electrostaticdischarge,esd)所釀成之損壞成本負(fù)擔(dān)估計(jì)高達(dá)9億美元，有些專家認(rèn)為實(shí)際上的損失還會更高。因此對于環(huán)境控制室(無塵室)的要求與品質(zhì)與日俱僧。

    由于無塵室內(nèi)的空氣通常須保持在相對濕度45%的干燥狀態(tài)，因此容易產(chǎn)生靜電；靜電在半導(dǎo)體制程上誘發(fā)不良的作用主要有兩大類，一為引發(fā)微粒污染，在各種無塵室的微粒污染源中占第五位，約5%，另一為靜電釋放(esd)，其所引發(fā)的失效率，在產(chǎn)品早期各種失效發(fā)生源中占首位，超過50%；為了克服靜電釋放的問題，許多制造商已著手研究各種靜電控制計(jì)畫，內(nèi)容包括制程機(jī)儀及人體所產(chǎn)生的靜電危害。

    無塵室用靜電釋放防護(hù)衣著必須具有：(1)靜電／靜電逸散、(2)微塵粒子產(chǎn)生機(jī)會低(低發(fā)塵量)、(3)織造強(qiáng)度夠、(4)耐用性好、(5)抗特定化學(xué)藥劑及(6)穿著性舒適等特性。

    目前抗靜電無塵衣大都由人造長纖維織造。這些織物可以是針織、梭織或紡黏合方式織造。聚酯長纖是目前無塵室織物最主要之原料。為了使織物賦予持久性抗靜電／靜電逸散的效果，一般是于織造過程中嵌入(大概占織物重之0.1-0.5%)導(dǎo)電紗。這些導(dǎo)電紗通常在成品布上顯現(xiàn)條或格子狀樣式(3-10mm，視最終用途而定)。

    目前市面上有很多種抗靜電纖維可供選擇，這些纖維的織造通常是在纖維制造過程中加入些許導(dǎo)電物質(zhì)，分別由以下兩種生產(chǎn)方式而得：

    1.有機(jī)高分子纖維(主要是聚醯胺或聚酯)

    (a)熔融紡絲時(shí)加入導(dǎo)電物質(zhì)添加物(例如碳黑)。

    (b)熔融紡絲后以導(dǎo)電物質(zhì)當(dāng)作纖維后處理。

    2.無機(jī)纖維(例如不銹鋼纖維)：導(dǎo)電性纖維需經(jīng)過紡紗后再織成布，纖維導(dǎo)電性之優(yōu)劣必須視導(dǎo)電物質(zhì)之種類、添加量和位置來加以調(diào)整，碳纖維是最常用之導(dǎo)電材料，硫化銅、碘化銅和其它氧化金屬也常使用。導(dǎo)電物質(zhì)可以使用類似涂布加工的方式覆蓋于纖維外層，或使用復(fù)合紡絲使纖維內(nèi)部含導(dǎo)電材料，亦或一部份分布在表面一部份在纖維內(nèi)部形成兩種介質(zhì)，導(dǎo)電材料通常添加量在3%～30%之間。

    二、國外抗靜電劑開發(fā)

    無塵室紡織品采用高密度織法的聚酯長纖紡織品來作為微�？刂祁H為普遍，其較混紡的聚酯棉與其它使用在非無塵室esd應(yīng)用的紡織品更不能釋放靜電，由于棉花具有吸收水氣的能力，它較聚酯更能釋放靜電，但它卻會產(chǎn)生棉絨。除此之外，做為無塵室使用的紡織品必需兼具耐久、非污染的導(dǎo)電性紗線來達(dá)到抗靜電。

    隨著高速紡絲和變形加工設(shè)備的推廣應(yīng)用，紗線表面較易積聚摩擦產(chǎn)生靜電荷，因此必須在紡絲油劑中加入抗靜電劑。

    目前國外市場新推出的抗靜電劑有：crostatpta，這是一種用于合纖地毯紗的臨時(shí)性抗靜電劑，它不影響地毯紗的色牢度；tc-anfistatikumukflussig是一種合纖專用抗靜電劑，它可使織物手感較柔和；laustatct是一種用于浸泡和浸軋的高效抗靜電劑；yamsoft-gs是一種假陽離子柔軟潤滑劑，有抗靜電性，專用于棉紗，但也可改善合纖或混紡紗的柔軟性和抗靜電性；achitoilolconc是一種非離子型抗靜電劑，用于纖維素纖維及其混紡紗，有高潤滑功能，而且降低纖維問摩擦力。

    日本東京kaneboltd.生產(chǎn)belltron碳纖維系目前最廣泛使用在無塵室紡織品上面的導(dǎo)電性紗線，它擁有每平方公分107至1011歐姆的平均表面電阻系數(shù)。典型的特定esd紡織品，使用有更多導(dǎo)電性但有時(shí)卻會污染的esd紗線，具有105至107歐姆的表面電阻系數(shù)。

    precisionfabricsgroupinc.(greensboro，nc)供應(yīng)一系列抗靜電布料，包括供給isoclass3應(yīng)用的integrity2000紡織品、供isoclass4制藥與生物科技無塵室使用的integrity1800、以及供給isoclass5領(lǐng)域的integrity1700。其高密度的織法對微粒的阻隔可小至1微米，并加入belltron碳纖維來達(dá)到釋放靜電。

    紐約sternandsternindustriesinc則生產(chǎn)一系列chemstat909plus抗靜電布料，供給isoclass5與isoclass4無塵室使用。

    此外該公司teijinshoji(usa)inc.所開發(fā)具備污染控制之esd紡織品，提供空氣與水氣的滲透性以及較大程度的柔軟性，以提高工作者的舒適性。teijinshoji公司已經(jīng)是一間超過15年的全球性無塵室與esd紡織品供貨商，但是milliken公司卻是無塵室/esd市場的新人，一家135年的紡織品制造廠，該公司所發(fā)表的perimeter產(chǎn)品系列包括了4種供予微�？刂婆c2種針對esd的紡織品，milliken公司生產(chǎn)聚酯長纖維抗靜電紡織品，適合于供給isoclass3與4領(lǐng)域使用，亦包括了belltron碳纖維來排放靜電。

    twcleaninc.(carlsbad,ca)所產(chǎn)生的class100抗靜電紡織品，具有抗靜電功能外，亦具有舒適性以及成本優(yōu)勢。

    三、新型抗靜電劑的柔軟性

    由于新型抗靜電劑大分子柔軟性好，原子間鍵距大，運(yùn)動自由度大，分子間作用力較弱，表現(xiàn)出較低的表面張力，有很好的潤滑性和柔軟性。對羊毛纖維，改變了羊毛纖維的雙向摩擦系數(shù)，使其接近一致，有效地防止了羊毛纖維的不可逆移動。而對聚酯纖維，由于抗靜電劑大分子對聚醋纖維大分子有較大的親和力，故賦予聚醋纖維更光滑和柔軟的手感。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，新型抗靜電劑能減少纖維屈曲滯后性，改善織物的懸垂性，獲得柔軟的手感。

    抗靜電劑在羊毛染色中使用，發(fā)現(xiàn)羊毛纖維的紡紗、織造效率也有相應(yīng)提高，織物沒有劃痕，改善了手感。從側(cè)面也證明新型抗靜電劑對織物的潤滑和柔軟作用。

    四、復(fù)合型導(dǎo)電纖維可制成各類抗靜電紡織品

    導(dǎo)電纖維的發(fā)展經(jīng)歷了幾個(gè)階段：金屬纖維、碳纖維、導(dǎo)電物質(zhì)包裹纖維和復(fù)合型導(dǎo)電纖維等。其中，金屬纖維導(dǎo)電性好，但與普通纖維混紡時(shí)抱合性差，高細(xì)度纖維價(jià)格很高；碳纖維電阻率低，但缺乏韌性，彎曲程度較低；包裹性導(dǎo)電纖維則是不耐摩擦和反復(fù)洗滌，導(dǎo)電物質(zhì)容易剝落。而復(fù)合型導(dǎo)電纖維一般是將導(dǎo)電物質(zhì)如碳黑、碳纖維、金屬衍生物等與普通聚合物復(fù)合制成，因此價(jià)格低廉、導(dǎo)電性好，導(dǎo)電范圍可調(diào)、耐久性好。

    特點(diǎn)：

    1復(fù)合型導(dǎo)電纖維實(shí)際上是通過復(fù)合紡絲技術(shù)使纖維的一部分含有導(dǎo)電物質(zhì)；

    2使纖維在具有導(dǎo)電特性的同時(shí)，又兼有普通合成纖維的性能，成為具有可紡性的功能性纖維功效。 

    五、國內(nèi)復(fù)合型導(dǎo)電纖維的開發(fā)

    天津工業(yè)大學(xué)生物與紡織材料研究所自行研制多功能磁性纖維，該多功能磁性纖維具有：

    1遠(yuǎn)紅外功能上，該種纖維的遠(yuǎn)紅外發(fā)射功率為86%左右，相當(dāng)于100攝氏度的溫度，這是因?yàn)槔w維的皮層中含有遠(yuǎn)紅外微粉；

    2磁性功能上，這種纖維本身含有磁粉。磁粉含量會影響多功能磁性纖維德磁感應(yīng)強(qiáng)度的大小，即影響該材料的磁性大小。但由于磁粉本身是剛性粒子，不易變形，纖維中添加過多會導(dǎo)致材料的流動性能和機(jī)械力學(xué)性能。所以，添加的含量是經(jīng)過認(rèn)真研究確定的；

    3屏蔽x光功能方面，對屏蔽x光起作用的是磁粉。在材料固定的情況下，屏蔽x光的能力和物質(zhì)的質(zhì)量吸收系數(shù)成正比。增加磁粉使材料密度增加，質(zhì)量增大，從而使x射線的屏蔽率增加；