【集萃網(wǎng)觀察】日本智索(Chisso)開(kāi)發(fā)出了能夠以噴墨方式噴出高濃度液滴,并以此形成厚絕緣膜的聚酰亞胺樹(shù)脂類絕緣墨水。此次新開(kāi)發(fā)的墨水在不使用腐蝕噴頭的溶劑的情況下,實(shí)現(xiàn)了適合噴涂的粘度和高濃度。與以往的光刻方式相比,可以減少工序、提高材料的利用率。
新開(kāi)發(fā)的墨水能夠在固體濃度達(dá)到25~60wt.%的狀態(tài)下噴出,因此能夠形成絕緣膜所須的厚度;而且,因?yàn)椴皇褂醚赜弥两竦娜軇狽MP(N-甲基吡咯烷酮),所以還可使用易于被NMP腐蝕的噴頭。由于可以省去以往所需的光掩膜和真空裝置,設(shè)備投資額可降至1/10以下。
來(lái)源:日經(jīng)BP社
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