②輸出顯示器顯示值過小。此現(xiàn)象有以下四種情況；一是激光機光學部分有塵垢，其補正措施為對輸出鏡及總反射鏡進行清潔，同時對輸出鏡和總反射鏡做一次微調O二是等離子體管中的氣體壓力太低，其補正措施為流量網(wǎng)增壓。三是一個或多個氣體限流器部分阻塞，其補正措施為拆掉眼流器，并用高壓清潔。四是由于漏氣可能擊穿一個陰極密封圈，若發(fā)現(xiàn)孩現(xiàn)象，在陰極密封圈表面可用肉眼看到小光點。而在正常情況下看到的是擴散的紅色和藍的閃光點。補正措施為更換密封圈和固定件。

    ③功率表指示功率過高且隨時閃光。這類故障發(fā)生的原因可能是監(jiān)測電路出現(xiàn)短路。排除故障的方法是拆掉流量檢測儀插頭。若顯示值全為零，必須更換，并校正檢測儀。

    ④管流量不能增加到正常值，或等離子體管流量之間數(shù)值明顯不一致。這種故障發(fā)生的原因大致有四種：一是等離子體管壓力過高，補正措施為適當減壓。二是氣體混合不當，補正措施為調回設定的原始壓力，然后檢查氣體限流器。三是等離子體管內壓力過低，補正措施為按要求調整到正常的工作壓力。四是管流量控制電路有故障，補正措施為關閉激光機后，更換流量控制線路板內的轉換電路。